前進半導體前端製程檢測 致茂投資兆晟奈米科技與工研院簽約技轉

台灣桃園2017年11月24日電 /美通社/ — 由致茂電子投資的兆晟奈米科技於24日與工業技術研究院進行「奈米粒子監控技術」轉移簽約儀式，工研院並將成為兆晟奈米科技的重要股東。兆晟奈米科技已於日前獲准進入新竹科學園區，發展、製造半導體先進製程所使用溶液的奈米粒子監測系統，有效協助提升半導體製程良率。

半導體製程中常用到大量溶液，進行晶圓表面的清洗、研磨與蝕刻。隨著半導體製程從20奈米、10奈米乃至7奈米，電晶體縮小會使電流通道的寬度越窄，故製作過程中只要溶液出現一絲雜質 — 殺手級的奈米粒子，就會影響產品良率。目前現有的光散射粒子量測技術在20奈米以下已難以精準偵測溶液中粒子的大小、數量，導致半導體製程良率難以控管。兆晟奈米將提供半導體廠一副「鷹眼」般的眼鏡：「新世代溶液奈米粒子監測系統 — SuperSizer」，可準確偵測製程液態環境中5奈米以上粒子的大小與分布情形，使廠商得以採取必要的措施改善製程提升良率。此技術除應用於半導體先進製程，亦可應用在電子、光電、生醫材料等領域。

兆晟奈米科技將結合致茂集團營運據點及行銷通路，拓展全球市場。致茂電子為精密電子量測儀器、自動化測試系統、智慧製造系統與全方位Turnkey測試及自動化解決方案領導廠商，在半導體測試領域已具備多項後端製程精密量測產品線，兆晟奈米科技的加入將成為致茂集團提供半導體前端製程檢測解決方案的供應商，滿足半導體製程更完整的檢測需求。