吉時利推出用於半導體元件特性分析和探針台間的混合信號互連解決方案

臺北訊 – 2009年4月27日 – 先進電子量測方案領導廠商美商吉時利儀器公司(Keithley Instruments, NYSE:KEI)近日推出了業界首款纜線解決方案(cabling solution)，利用一組申請專利中的纜線即可處理I-V、C-V或是脈衝I-V訊號。這款最新的纜線套件能夠大大加速並簡化從任何先進半導體參數分析儀連結到Cascade Microtech或SUSS MicroTec探針台進行直流電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)和脈衝I-V測試的過程。這些配線的設計與吉時利4200-SCS半導體特性分析系統以及其他用於特性分析的測試儀器相容。

新款高性能三軸纜線套件(triaxial cable kit)的設計適用於那些需要在不同量測類型之間頻繁切換的特性分析應用。這款新的纜線套件無需使用者重新佈線，也能夠消除由於佈線誤差導致的測量誤差。新款的纜線套件有兩種版本現正供應中─一種適用於Cascade Microtech探針台；而另外一種適用於SUSS MicroTec探針台。

對半導體元件進行電子特性分析，掌握製程中的步驟，需要進行各種量測，包括直流I-V、C-V和脈衝I-V量測。將這些不同類型的量測整合在一個特性分析系統中最大的挑戰是─每種量測都有完全不同的佈線需求。例如，進行低電流I-V量測需要用三軸線以達到夾層中能有防護(guarding)信號的功能。C-V量測通常採用四條同軸纜線並將外殼連接在一起，以控制訊號遇到的特性阻抗(characteristic impedance)。脈衝量測所需的頻寬在三種量測類型中為最高，因此佈線的特性阻抗必須與源阻抗(source impedance)相搭配，以防止受測元件的訊號反射至電源處。

吉時利的新款纜線套件在設計時考慮了這些不同的需求。無論用戶進行任何類型的量測，都不需要更動探針控制臺的佈線；藉由輕易地將纜線從一組儀器連結至到另一組，使得I-V量測、C-V量測和脈衝I-V測試之間的轉換更加容易，從而簡化了元件特性分析的過程。此外，在探針接觸晶圓的時候即可修改測試設定，從而減少了探針接觸區域 (pad)損壞的可能，並對三種量測類型保持相同的接點阻抗值(contact impedance)。

持續的系統升級確保產能不斷增長
Keithley的Model 4200-SCS取代各種電子測試工具，提供緊密整合的單一特性分析解決方案，適合各種應用─包括可靠度實驗室、材料與元件研究實驗室、製程開發實驗室、以及任何需要用到桌上型DC或pulse儀器的實驗室，來進行半導體技術開發、以及材料研究。Keithley持續提升軟硬體的性能表現並改良系統，確保客戶擁有成本效益下的升級管道，讓使用者不必淘汰舊的參數分析儀。以配合產業持續演進的測試需求。因此，將關鍵的投資放在Model 4200-SCS所獲的的效益，將遠超過其他廠商的測試解決方案。

Keithley作為半導體元件特性分析和參數測試系統的領導廠商，為全球各地的使用者提供了電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)和脈衝I-V測量與分析所需的各種解決方案。產品涵蓋了單一的桌上型儀器到成套系統；適用於材料分析、元件特性分析、晶圓級可靠度分析、製程監控等應用。Keithley通過其龐大的服務中心網路以及具有半導體專業知識的應用工程師，與全球的半導體客戶密切合作提供完整服務。

詳細資訊
新款的纜線套件有兩種版本現正供應中─包括針對Cascade Microtech探針台的Model 4210-MMPC-C、以及針對SUSS MicroTec探針台的Model 4210-MMPC-S。

有關吉時利最新的I-V、C-V、脈衝纜線套件或其他半導體測試方案的更多資訊，請瀏覽： http://www.keithley.com/products/semiconductor/?mn=4200-SCS ，或聯絡：
電話： 03-5729077
傳真： 03-5729031
網址： www.keithley.com.tw
地址： 新竹市公道五路二段120號13F-3

關於美商吉時利儀器公司
美商吉時利儀器公司（吉時利儀器）有 60 年的量測產品經驗，是整合直流到 RF（射頻）的先進電性測量儀器及系統的世界領導廠商。產品能滿足在產品測試、製程監控、產品開發，以及研究工作中的新興量測需求。公司的客戶為全世界電子產業的科學家與工程師，涵蓋的領域包括先進材料研究、半導體元件及晶圓特性量測、以及最終產品的生產，如電子產品及可攜式無線裝置等。吉時利提供客戶精確的量測技術，也深刻瞭解客戶的應用，能夠改善其產品的品質、產能以及良率。