Epson推出工業用高性能水平儀／加速計

精工愛普生公司 （Seiko Epson Corporation，簡稱「Epson」，東京證交所代號：6724）日前宣布，針對不同的工業應用，開發出兩款新型精巧的水平儀與兩款新型精巧的加速計（三軸感應器裝置）。這些產品能夠在更長的時間內，提供0.001度（水平儀）和10 uG （加速計）的穩定監測水準。Epson將於2013年第一季開始提供樣本，並計劃量產。

在建築業與土木工程業中，感應器是用來監控摩天大樓與其他大型建築物的水平與垂直面，並計算這些建築物在輕微震動下隨著時間發生的變化，及地震活動發生之後的結構變形與惡化狀態。然而，目前用於測量與感測上述變化的高精確度水平儀與加速計，不僅所費不貲，且巨大笨重，因此幾乎乏人問津。業界想要的是具備機械式伺服感應器的持久精確度與穩定性，同時由矽微機電系統（Si-MEMS）感應器所提供精巧、具有能源效率且低成本的監控系統。

Epson M計劃的總經理Toshihiko Kano表示：「為了滿足客戶的需求，我們利用核心QMEMS*¹製程技術的獨特優勢，開發出一款高精確度和穩定性兼具的全新石英加速計。我們將此款加速計與半導體及軟體技術相結合，針對實際應用而組成高性能的水平儀與加速計（三軸感應器裝置）。我們更將進一步地針對適合水平儀與加速計的各種應用，供應內建的機型、相容於CAN*²的防水及防塵機型。」

這些產品可讓客戶更容易建立靈活的監控系統，以滿足各種工業性能需求。這些產品也可以用來建構出多節點和同步測量的系統。客戶僅需要使用一個數位介面，便能夠在相當短的時間內，建立具備極佳的抗噪性與長距離測量功能之監控系統。

這項產品已於德國慕尼黑2012年國際電子博覽會（電子元件、系統及應用國際貿易博覽會）中正式發表，宣示在長期的企業願景中，Epson將視感測元件為重要的成長業務。Epson將繼續利用其時間、壓力，以及角速度等量值感測的石英QMEMS技術，促進與半導體及軟體技術配合的進一步發展，並為客戶提供產品、模組、系統等各種容易使用且可以信賴的解決方案。

^*1：QMEMS為「Quartz」（石英，一種具高穩定性及高精準度等優良特性的晶體材料）及「MEMS」（微機電系統）所組成的名詞。QMEMS元件是在石英材料上執行精密的微製程（microfabrication）技術加工製作而成，異於一般MEMS所使用的半導體材質，可在小型化封裝產品中提供更高的效能。QMEMS為Seiko Epson的註冊商標。

^*2：CAN （控制器區域網路）用於汽車及工業應用的網路通訊協定