KEITHLEY 推出 ACS 3.2 版自動特性分析套件軟體

台北訊 — 2008 年 2 月 1 3 日 — 先進量測方案領導廠商美商吉時利儀器 ( Keithley Instruments ﹔ NYSE:KEI) 宣布推出 3.2 版的 ACS (Automated Characterization Suite) 軟體，支援 半導體元件測試 ，以及元件、晶圓、晶舟層級特性分析的功能。全新推出的 3.2 版本加入了強大的多部位並行測試 (multi-site parallel test) 能力，大幅提昇 ACS 整合式測試系統的自動化功能，除適用於晶粒分類與新型晶圓層級座標定位等應用，也能支援 Keithley 新款具備 1f A 電流量測解析度的 Models 2635 與 2636 System SourceMeter 儀器。這些新功能組成一個符合高測試彈性與產能速度，且極具價格效益的測試解決方案，同時此方案也適用於實驗室和生產設定等無人操作的環境。想進一步瞭解 Keithley ACS 整合測試系統，請瀏覽 http://www.keithley.com/pr/070 。

更高的彈性與 產能速度

新型半導體技術要求花費更少的作業時間與資源、執行更多測試並具備更強資料收集的能力。為符合此一需求，不用針對個別生產線開發量測方案，而以一組現成軟體套件即可驅動的電源量測單元 (SMUs) ，仍是最具成本效益也最具彈性的選擇。 Keithley 新發表的 3.2 版自動化特性分析套件 (Automated Characterization Suite, V3.2) ，即為一套完備的軟體套裝，且包含許多現成的應用程式，能與 Keithley Model 4200-SCS 、 2600 系列 System SourceMeter instruments 以及其他 SMU 架 構的系統完美搭配，有效縮短產品上市時程同時減省整體測試成本。

多元件 (Multi-site) 測試

多元件測試的整合性結果篩選，需要許多特殊功能來管理從晶圓定位到輸出分類檔案等測試工作流程。 3.2 版 ACS 能針對晶舟層級進行自動化作業，支援更多無人操作的測試功能，收集大量的統計資料樣本，進行模型建立與流程檢驗，提高工具的使用效率。 ACS 用一種邏輯與實體元件的定義方式，讓系統能並行測試電路結構與元件。之後再透過測試執行流程，把測試結果對應到邏輯部位。並行測試的執行選擇，僅須點選幾次滑鼠鍵，就能從序列測試模式切換至真的並行測試模式。

達成以上所述功能的關鍵技術就是 2600 系列 System SourceMeter 內建的 Keithley TSP-Link 。晶圓級的座標定位，讓使用者能輕易移動到晶舟中的任何晶圓，檢視每片晶圓的多色分類圖 (multi-color binning plot) 。使用者僅須點選檢視中的邏輯部位，結果就會立即標上分析參數，並在測試規劃階段加以套用。

晶粒分類測試應用

ACS 在每片晶圓上能處理多達 10 萬個晶粒，極具效率。其晶圓描述工具更支援圖型縮放功能，能處理高晶粒數的晶圓。為進一步加快晶粒分類測試速度， ACS 支援可編程的條件設定，當測試顯示元件不符標準時，就省略後續的測試程序。探針測試程序可配合測試圖樣或實體進行最佳化，以提高探針與測試硬體的使用效率。 2600 系列與 Model 4200-SCS 所具備新型較大的參數化測試元件庫能縮短測試的設定時間，使用者存取點 (UAPs) 功能讓使用者能擴充 Keithley 測試執行引擎的功能與特色，包括產生分類檔案 (binning files) 。

延伸支援

ACS 現加入支援 2600 系列 System SourceMeter 單元的能力，並具備更高的電流靈敏度。其中包括單通道 Model 2635 與雙通道 Model 2636 ，電流量測的解析度降至 1f A ，來源電壓可達 200 伏特。 2600 系列 System SourceMeter 儀器適合進行各種半導體元件可靠性測試，包括矽元件可靠性測試，像是負偏壓溫度不穩定性 (negative bias temperature instability, NBTI) 。 ACS 也支援測試結果的即時描繪功能：例如以圖形顯示像 TDDB 、 NBTI 、 HCI 等可靠性測試的結果。

新功能包括：

· 邏輯與實體測試點，支援多測試點並行測試作業

· 每片晶圓能處理 10 萬個晶粒

· 測試點 (site) 或圖案的優先順序最佳配置

· 可 針對元件、次測試點、測試點、晶圓、以及專案等級可選擇離開狀態

· 使用者存取點 (UAP) 讓使用者延伸 Keithley 測試執行引擎的功能與特色

· 晶舟取樣計畫

· 優先分類的功能，最多可分 16 類

· 邏輯測試點分類功能，支援多測試點並行測試

· 晶圓級的分類功能，結合圖形資料分析與晶圓級導引 ─ 點選一個邏輯測試點就能檢視選定測試作業的圖形化分析結果

· 即時描繪測試結果與分析資料

· 新增的大型參數與可靠性資料庫

· 支援 Models 2635 與 2636 System SourceMeter 儀器

供貨時程

Keithley ACS 整合式測試系統產品現正供應中，若有疑問請洽：

電話： 03-5729077

傳真： 03-5729031

網 址： www.keithley.com.tw

地 址： 新竹市公道五路二段 120 號 13F -3

關於美商吉時利儀器公司

美商吉時利儀器公司（吉時利儀器）有 60 年的量測產品經驗，是整合直流到 RF （射頻）的先進電性測量儀器及系統的世界領導廠商。產品能滿足在產品測試、製程監控、產品開發，以及研究工作中的新興量測需求。公司的客戶為全世界電子產業的科學家與工程師，涵蓋的領域包括先進材料研究、半導體元件及晶圓特性量測、以及最終產品的生產，如電子產品及可攜式無線裝置等。吉時利提供客戶精確的量測技術，也深刻了解客戶的應用，能夠改善其產品的品質、產能以及良率。